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题目内容 （河南科技大学现代制造技术(考查课)(专升本)）
光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是( )。
A
电子束曝光技术
B
离子束曝光技术
C
X射线曝光技术
D
γ射线曝光技术

参考答案

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